壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號,模擬信號是指信息參數在給定范圍內表現(xiàn)為連續(xù)的信號。 或在一段連續(xù)的時間間隔內,其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數值的信號。而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應制造
而成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
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壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質量輕,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發(fā)展,半導體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
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