近日，“掃描探針顯微鏡漂移測量方法(ISO11039:2012)” 國際標準已由國際標準化組織正式發(fā)布。

該標準由中國科學技術大學工程科學學院黃文浩教授主持制訂，主要針對制約掃描探針顯微鏡在納米測量和納米加工方面的進一步應用的問題而制訂。掃描探針顯微鏡在納米測量和納米加工方面應用時，經(jīng)常會遇到掃描速率較慢，漂移現(xiàn)象等制約。

黃文浩教授致力于為該問題提出解決方案，在2006年就向國際標準化組織ISO/TC201提出了“掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法標準”提案。自2007年該提案正式立項后，經(jīng)過數(shù)年的努力，該標準終于在2011年順利通過，并于近日正式發(fā)布。

該標準通過將掃描探針顯微鏡作時納米/秒的漂移大小和方向測量出來，從而規(guī)范儀器使用。該標準定義了漂移速率專業(yè)術語，以及SPM漂移速率的測量方法和測量程序，并對儀器功能等進行規(guī)范。該標準為掃描探針顯微鏡生產(chǎn)廠家提供了規(guī)范。同時也使得掃描探針顯微鏡在納米級測量中的應用突破瓶頸，范圍更加寬廣和深入，推動納米測量技術的發(fā)展。